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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備XRDFreiberg-Omega/Theta XRDOmega/Theta XRD - X射線晶體定向儀

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀用于超快速的晶體定向、生產(chǎn)中的晶體排列、質(zhì)量控制、搖擺曲線測(cè)量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

產(chǎn)品型號(hào):Freiberg-Omega/Theta XRD
更新時(shí)間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:4518
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Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀     

主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。        

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測(cè)計(jì)數(shù)裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測(cè)量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料,如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向測(cè)量的臺(tái)式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺(tái)石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH     

傳承60年德國(guó)工匠精神-三代X射線工程師        

        

 Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):       

◆  采用Omega-scan掃描方法       

◆  測(cè)試速度快: 5s        

◆  測(cè)角精度高: 0.003        

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

◆  磨拋定向解決方案        

◆  擁有晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)(堆垛 stacking)專為SiC工業(yè)設(shè)計(jì),被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,國(guó)外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測(cè)量技術(shù),極大提高了生產(chǎn)效率,提升產(chǎn)品質(zhì)量。 

◆  Mapping 面掃功能,搖擺曲線測(cè)定         

◆  易于集成到工藝線中        

◆  MES和/或SECS/GEM接口        

◆  傾斜的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(例如:Si 100):< 0.003 °,小于< 0.001 °        

Omega/Theta X射線衍射儀是一個(gè)全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對(duì)各種晶體進(jìn)行取向測(cè)定和搖擺曲線測(cè)量。大而寬敞的設(shè)計(jì)可以容納長(zhǎng)度達(dá)450毫米、重量達(dá)30公斤的樣品和樣品架。        

所有的測(cè)量都是自動(dòng)化的,可以從用戶友好的軟件界面上的訪問。使用Omega掃描,可以在晶體旋轉(zhuǎn)時(shí)(5秒)確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只能得到一個(gè)取向成分。        

傾斜角可以以非常高的精度確定;使用Theta掃描可以達(dá)到0.001°。對(duì)于所有其他晶體方向,精度取決于與表面垂直的角差。        

該系統(tǒng)是模塊化的,已經(jīng)配備了許多不同的擴(kuò)展,用于特殊的目的,如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學(xué)測(cè)量檢測(cè)出來的,并可用于校正所產(chǎn)生的方向。        

 

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀        

◆  全自動(dòng)完整的單晶體晶格取向測(cè)量        

◆  使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測(cè)量        

◆  自動(dòng)搖動(dòng)曲線測(cè)量功能        

◆  衍射儀的角度分辨率:0.1角秒。        

◆  樣品尺寸可達(dá)450毫米        

◆  適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究        

        

 用戶友好,成本效益高:        

◆  方便的樣品處理,易于操作        

◆  *的、用戶友好的軟件        

◆  能源消耗和運(yùn)行成本低        

◆  模塊化設(shè)計(jì),靈活性強(qiáng)        

◆  各種升級(jí)選項(xiàng)        

◆  根據(jù)用戶的要求進(jìn)行定制        

 

選配功能:        

◆  自動(dòng)Mapping面掃功能        

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)(堆垛 stacking)        

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測(cè)量        

◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺(tái)        

◆  用于樣品形狀測(cè)量的激光掃描儀        

◆  光學(xué)檢測(cè),用于平面和凹槽檢測(cè)        

◆  額外的樣品旋轉(zhuǎn)軸用于3D繪圖        

◆  二級(jí)通道切割準(zhǔn)直器(分析器)        

◆  用于樣品調(diào)整的設(shè)備

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